一、不锈钢材质
不锈钢是真空泵和真空管道中常用的材料之一，其主要优点包括耐腐蚀、强度高、耐高温和易于加工等。不锈钢又可分为多种类型，如SUS304、316L、321等。
二、铝材质
铝是相对较轻的一种金属材料，其主要优点包括重量轻、导热性好和成本低廉等。在一些真空管道中，铝材质的使用比较广泛。不过，铝的耐腐蚀性相对较差，需注意使用环境。
三、碳钢和铸铁
碳钢和铸铁铸造的真空泵其实也就是会有着比较好的耐蚀性，就这个方面来讲的话，它其实也就是不适合高速流动上的硫酸,就这个方面来讲的话，它其实也就是不适用作泵阀上的材料;也正是因为如此，就输送硫酸的泵阀一般也就是会采用高硅铸铁以及其高合金不锈钢(20号合金)进行制造。
四、陶瓷材质
陶瓷是真空管道中常用的材质之一，其主要优点是耐耗磨、耐高温、耐腐蚀和导电性能好等。陶瓷的使用广泛，常用于真空管道的电气绝缘和气密性较高的零件制造。
五、其他材质
除了上述四种常用的材质之外，还有一些其他的材质，如铜和钛等。铜的导热性能好，在一些需要快速传递热量的情况下使用；钛具有较好的耐腐蚀性能，在一些特殊场合下使用。不过，这些材质使用范围相对较窄。